© 2001-2017 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
Услуги
Услуги НОЦ «Нанотехнологии»:
‑ измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов; возможность измерения параметров диэлектрических образцов в вакууме до 1 Торр;
‑ определение локального элементного состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа;
‑ исследование спектров катодолюминесценции в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм;
‑ определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов;
‑ рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализ порошков и тонких плёнок;
‑ исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии;
‑ исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии;
‑ определение толщин тонких плёнок;
‑ исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне);
‑ электронная литография с предельным разрешением до 10 нм;
‑ нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное и электронно-лучевое напыление, атомно-слоевое осаждение).
