Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". Эллипсометр Sentech SE500adv

Эллипсометр Sentech SE500adv ‑ уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей.

Эллипсометр SE500adv обладает высокой стабильностью и точностью при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированным компенсатором, управлением поляризатором, детектором сверхнизких шумов.

 

Технические характеристики

Эллипсометр

Длина волны

632,8 нм HeNe лазер (<1 мВт)

Точность измерения ψ и ∆

0,002о и 0,002о

Долговременная стабильность

δ∆ = + 0,1о, δψ = +0,1о

Точность измерения толщины пленки

0,01 нм на 100 нм SiO2 на Si

Точность измерения индекса преломления

5х10-4 на 100 нм SiO2 на Si

Диапазон измерений для прозрачных пленок

до 6 мкм

Диапазон измерений для слабоабсорбирующих слоев (полисиликон)

до 2 мкм

Время измерения

120 мс –  0,1с (зависит от режима)

Диаметр светового пятна

1 мм

Угол падения луча света

ручной гониометр 40 – 90о

шаг установки 5о

Выравнивание образца, фокусировка

автоколлиматический телескоп (АСТ)

 

Рефлектометр

Принцип действия

интерференция белого света при нормальном угле падения

Спектрометр

фотометр с матричным фотодетектором

Спектральный диапазон

450 – 920 нм

Время измерения

30 – 300 мс

Диапазон измеряемых толщин

50 – 25000 нм

Диаметр светового пятна

80 мкм

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика