Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". PECVD PlasmaLab System 100

 



Установка PlasmaLab System 100 предназначена для проведения PECVD процессов: осаждение межслоевых диэлектриков, пассивация поверхности пластин, создание маски для ионной имплантации, нанесение аморфного и поликремния, создание ненапряженных мембран, создание оптических волноводов.

 

 

 



 

Технические характеристики:

- типичное рабочее давление – 300  1200 мТорр

- конформное осаждение

- низкая температура подложки в ходе осаждения (200 – 300оС)

- точный контроль стехиометрии пленки

- используемые газы: CF4, N2, N2O, NH3, SiH4.

- подогреваемый нижний электрод (до 600оС)

 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика