Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". Оптический литограф OAI Hybralign series 500

 


Высокоразрешающий контактный литограф OAI 500 является высокопроизводительной литографической системой для создания субмикронных структур. Литограф оснащен оптическим микроскопом для совмещения шаблона с уже существующей структурой на образце, системой фиксации шаблонов 4 х 4”, полуавтоматическим контролем времени экспонирования.


Предметный стол литографа позволяет использовать пластины диаметром до 76 мм в контактном режиме с вакуумной фиксацией подложки и пластины диаметром до 100 мм в полуконтактном и бесконтактном режимах.




Длина волны излучения ртутной лампы – 385 нм. Разрешение литографии в зависимости от режима работы до 250 нм. Точность совмещения около 5% от размера структуры на пластине (ухудшается с уменьшением латеральных размеров струкутуры).

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2020 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях