© 2001-2018 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
НОЦ "Нанотехнологии". ВНУ Nanomaster NEE-4000
Установка электронно-лучевого напыления NEE состоит из вакуумной камеры и блока управления электронным лучом с программируемым сканированием. Контроль работы установки осуществляется при помощи ПК с возможностью написания рецепта напыления. Вакуумная камера с ручной загрузкой образцов оснащена турбомолекулярным насосом, позволяющим проводить откачку до рабочего давления (1*10-5 Торр) за 15 минут. Предельное давление в камере – 5*10-7 Торр.
Установка оснащена держателем образцов с двумя степенями свободы и возможностью крепления пластин диаметром до 6”. Расстояние от держателя образца до барабана с тиглями – 14”. Одновременно в барабане можно расположить 4 тигля с навесками испаряемого материала.