Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". ВНУ Nanomaster NEE-4000

 


Установка электронно-лучевого напыления NEE состоит из вакуумной камеры и блока управления электронным лучом с программируемым сканированием. Контроль работы установки осуществляется при помощи ПК с возможностью написания рецепта напыления. Вакуумная камера с ручной загрузкой образцов оснащена турбомолекулярным насосом, позволяющим проводить откачку до рабочего давления (1*10-5 Торр) за 15 минут. Предельное давление в камере – 5*10-7 Торр.

 

Установка оснащена держателем образцов с двумя степенями свободы и возможностью крепления пластин диаметром до 6”. Расстояние от держателя образца до барабана с тиглями – 14”. Одновременно в барабане можно расположить 4 тигля с навесками испаряемого материала.





 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика