Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". Печь БТО Jipelec Jetfirst 200C

 

Диффузионная печь скоростного отжига JetFirst 200 C предназначена для быстрого термического оксидирования, анодирования, термической диффузии нанесенного на поверхность образца покрытия, кристаллизационных процессов и отжига контактных площадок. Высокая надежность и высокая производительность позволяют использовать JetFirst 200C для мелкосерийного производства. Размер камеры позволяет использовать для отжига пластины диаметром до 200 мм. Контроль температуры может производиться либо с помощью пирометра, либо тремя термопарами в трех точка пластины. Скорость нагрева может программно изменяться от 1оС/с до 100оС/с, максимальная температура в камере 1300оС.

 

Отжиг может проводиться в различных средах:

- естественная среда

- вакуум (предельное значение вакуума около 1*10-5 Торр)

- продувка газом (Ar, N2) с откачкой форвакуумным насосом

- атмосфера газа (Ar, N2)

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика