Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". ПЛ Obducat Eitre 3 Nano Imprint

 


Система Obducat Eitre 3 снабжена модулем термо-импринта для всей области обработки, который использует Soft Press технологию. Встроенный в держатель пластин нагреватель обеспечивает гомогенность температуры по всей области импринта.

Диапазон температуры и ее регулировки позволяют использовать широкий набор импринт-полимреов. Максимальный размер подложки – 3.

 

При использовании Soft Press технологии давление прикладывается и к штампу, и к пластине при помощи сжатого воздуха, что гарантирует однородность по всей области импринта.

 

Технология STU объединяет одновременную УФ и температурную импринт операции, что позволяет выполнять всю последовательность печати в УФ-отверждаемых термопластичных пре-полимерах при постоянной температуре.

 

Технология IPS обеспечивает печать на кривых и неровных подложках. Основной штамп копируется в мягкий промежуточный полимер, который затем используется как одноразовый штамп для передачи топологии на подложку.

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2020 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях