Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". PC Diener Femto

 


Лабораторная плазменная система Femto UHP с полуавтоматическим контролем может применяться в различных сферах деятельности:

- мелкосерийное производство

- пробоподготовка для анализа

- медицинские технологии

- стерилизация

- исследовательские процессы

- полупроводниковые технологии

 


Технические характеристики:


размеры камерыдиаметр 95 мм, длина 270 мм
объем камерыпримерно 1,9 л
рабочий газкислород
генератор40 кГц 100 Вт
вакуумный насосPfeiffer Duo (2,5 м3/ч)
контроль процессаполуавтоматический, таймер H8GN


Установка используется для очистки образцов перед различными стадиями технологических процессов, удаления органических загрязнений и остатков резиста после литографии.

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика