Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". Пила Disco DAD320

 



Установка дисковой резки DAD320 позволяет проводить резку кремниевых пластин толщиной до 750 мкм и диаметром до 150 мм (120 х 120 мм). Ширина пропила определяется шириной лезвия и размерами сколов по краям пропила и составляет около 30-40 мкм для кремния.

При распиливании пластины на отдельные элементы с уже существующей на поверхности структурой точность совмещения около 50 мкм, что позволяет распиливать кремниевые пластины с расстоянием около 100 мкм между структурными элементами.

Установка позволяет распиливать стеклянные и кварцевые пластины толщиной до 2 мм. Ширина пропила для лезвия по стеклу составляет около 300 мкм (ширина лезвия – 200 мкм).

 




Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика