Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологи". ICPE Corial 200I


Установка Corial 200I предназначена для проведения ICP и RIE процессов травления кремния, оксида кремния, металлов и оксидов металлов на пластинах диаметром до 200 мм (в камере возможно размещение до семи пластин диаметром до 50 мм).

 

Установка оснащена двухсот двадцати миллиметровым катодом с держателем образцов для загрузки и выгрузки образцов, при этом держатель образцов может меняться в зависимости от размеров образца или используемого процесса.

 

Высокопроизводительная вакуумная система состоит из безмасляного насоса Alcatel ADP 122P с производительностью 95 м3/час и турбомолекулярного насоса Alcatel ATH 500M с производительностью 50 л/сек. Вакуумная система оснащена затворным клапаном для выгрузки/загрузки образцов 

без остановки турбомолекулярного насоса и автоматической системой контроля давления с дроссельной заслонкой.

 

Технические характеристики:

- 7 газовых линий с контроллерами потока газа (CHF3, SF6, O2, C2H4, Ar);

- радиочастотный генератор 13,56 МГц, 300 Вт;

- радиочастотный генератор с воздушным охлаждением (2 МГц, 1 кВт).







Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика