Адрес e-mail:

НОЦ "Нанотехнологии". ВНУ BOC Edwards AUTO 500

 

Установка вакуумного напыления BOC Edwards AUTO 500 оснащена высокочастотным магнетроном, магнетроном постоянного тока и системой электроннолучевого напыления.

 

Материалы мишеней для магнетронного напыления (диаметр мишени 100 мм):

Al, Ti, Cu, W, SiO2, Cr, Zr, V, Nb, Ta.

 

Рабочие газы для магнетронного напыления:

Ar, N2, O2 и их смеси.

 

Использование кислорода и азота позволяет наносить такие химические соединения металлов, как нитрид титана (TiN) или оксид тантала (TaOx).

 

Материалы навесок для электроннолучевого напыления:

Co, Ni, Si, SiO2, SnO2, Ag, Au, Pd, Pt, Al, Cr, Cu, Ti, Zn, Ge.

 

Рабочее давление в вакуумной камере при электронно-лучевом напылении около 5*10-5 Торр, при магнетронном напылении давление в камере устанавливается при помощи регулировки потока рабочего газа. Предельное давление в камере – 1*10-6 Торр.

Контроль толщины наносимой пленки при электроннолучевом напылении осуществляется при помощи кварцевого детектора, при магнетроном напылении – временем нанесения материала.

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика