© 2001-2018 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
Оборудование
Аналитическое оборудование:
‑ рентгеновский фотоэлектронный спектрометр Thermo Scientific Theta Probe;
‑ эллипсометр спектральный Эллипс-1891-М;
‑ эллипсометр Sentech SE500adv;
‑ оптический микроскоп Olympus BX51M;
‑ стилусный профилометр AMBIOS XP-20.
Технологическое оборудование:
‑ установка вакуумного напыления BOC Edwards AUTO 500;
‑ установка плазменного нанесения Oxford Instruments PlasmaLab System 100;
‑ установка плазменного травления Corial 200I;
‑ установка плазменной чистки Diener Femto;
‑ печь скоростного отжига Jipelec Jetfirst 200C;
‑ лазерный литограф Heidelberg uPG 101;
‑ оптический литограф OAI Hybralign series 500;
‑ установка для бондинга AML Aligner Wafer Bonder WB04;
‑ ультразвуковая сварка Kulicke & Soffa 4524A Digital;
‑ установка электронно-лучевого напыления Nanomaster NEE-4000;
‑ установка печатной литографии Obducat Eitre 3 Nano Imprint Lithography systems;
‑ установка лезвийной резки DISCO DAD320;
‑ установка лазерной гравировки МЛП-2.
