Адрес e-mail:

Оборудование

Аналитическое оборудование:

‑ рентгеновский фотоэлектронный спектрометр Thermo Scientific Theta Probe;

‑ эллипсометр спектральный Эллипс-1891-М;

‑ эллипсометр Sentech SE500adv;

‑ оптический микроскоп Olympus BX51M;

‑ стилусный профилометр AMBIOS XP-20.

 

Технологическое оборудование:

‑ установка вакуумного напыления BOC Edwards AUTO 500;

‑ установка плазменного нанесения Oxford Instruments PlasmaLab System 100;

‑ установка плазменного травления Corial 200I;

‑ установка плазменной чистки Diener Femto;

‑ печь скоростного отжига Jipelec Jetfirst 200C;

‑ лазерный литограф Heidelberg uPG 101;

‑ оптический литограф OAI Hybralign series 500;

‑ установка для бондинга AML Aligner Wafer Bonder WB04;

‑ ультразвуковая сварка Kulicke & Soffa 4524A Digital;

‑ установка электронно-лучевого напыления Nanomaster NEE-4000;

‑ установка печатной литографии Obducat Eitre 3 Nano Imprint Lithography systems;

‑ установка лезвийной резки DISCO DAD320;

‑ установка лазерной гравировки МЛП-2.


 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика