Адрес e-mail:

24 марта в МФТИ пройдет встреча с Вадимом Баниным, директором по разработкам голландской литографической компании ASML.

Новые горизонты нанолитографии.

Литография – планарная технология, заключающаяся в формировании в активно чувствительном слое, нанесенном на поверхность подложек, рельефного рисунка и последующего переноса этого рисунка на подложки. Применяется при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных микросхем, а также некоторых сверхпроводниковых наноструктур.

EUV-литография – технология проекционной литографии следующего поколения с использованием EUV излучения в узкой спектральной полосе 13,5±0,135нм.

Докладчик: Вадим Банин
Director Research ASML
Member of Scientific Advisory Commitee (SAC) at FOM and Physics Departnment of TU
Eindhoven advisory board.
More than 100 patent families (91 US),
Winner of ASML patent award,
More than 40 publications, Reviewer in IOP

ASML Нидерланды.
- Производственная компания, инновационный лидер и крупнейший игрок на рынке машин для нанесения литографии (доля мирового рынка-62%, остальные 38% приходятся на Nikon и Canon).
- Выручка (2009) –2 060 млн. долл.
- Специализация: литографы, оптическое оборудование
- Выручка от продаж литографического оборудования (2009) – $ 1 377 млн.
- Интегратор: до 90% выполняемых работ отдает на аутсорсинг.
- Активно проводит исследования в рамках создания промышленных EUV-литографов.
- 29 % прибыли вкладывает в новые разработки.
Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика