Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

Технологии наноструктур. Третий курс. Осенний семестр 2014 года.


Химия для технологий малых частиц. Индивидуальные задачи для студентов.
Физические технологии устройств наноэлектроники. Индивидуальные задачи для студентов.
Схема проектов.

4 сентября.
Классификация наноструктур и их фрагментов по конфигурации и составу → принципы выбора технологии. "Мокрые" и "сухие, физические и химические технологии наноразмерных объектов и устройств на их основе.
Презентация лекции.

11 сентября.
Электроосаждение и химическое осаждение металлов, сплавов, сложных соединений. Темплатируемое осаждение упорядоченных ансамблей наноразмерных объектов («наногальваника») и слоистых наноструктур. Кулонометрический мониторинг при электроосаждении.
Презентация лекции.

18 сентября.
Сверхпроводящие и гибридные наноструктуры (обзорная лекция).
Презентация лекции.

25 сентября.
Процессы анодного растворения и окисления металлов и кремния. Электрополировка. Анодирование металлов для создания сплошных диэлектрических пленок и оксидных слоев с упорядоченными порами. Изготовление нанометровых зазоров. Заострение зондов.
Презентация лекции.

2 октября.
Оптический контроль размеров коллоидных частиц, получение металлических и полупроводниковых наночастиц; частицы типа «ядро-оболочка» и другие экзотические коллоиды.
Презентация лекции.
Статья о чаше Ликурга.

9 октября.
Нанесение наноразмерных объектов на подложки в вакуумных устройствах и из газовой фазы (методы, основанные на химических, фото- и плазмохимических процессах). Требования к реагентам. Типы и стадийность процессов. Регулирующие факторы.

Атомарно-гладкие подложки. Эпитаксия. Предобработка подложек. Основные механизмы нуклеации и роста. Поверхностная диффузия. In situ мониторинг роста тонких пленок спектроскопическими методами.
Презентация лекций 6-7.

23 октября.
Физические методы нанесения тонких пленок. Термическое, магнетронное и электронно-лучевое осаждение тонких слоев.
Презентация лекции.

6 ноября.
Оптическая литография. Фоторезисты. Выборы доз экспонирования. Прямые и обратные (позитивные и негативные) процессы. “Взрывной” (lift-off) процесс.
Электронная литография. Электронные резисты. Двуслойные маски и “теневое” напыление структур. Ионное и реактивно-ионное (RIE) травление слоев.
Презентация лекции: часть 1часть 2часть 3.

13 ноября.
Химические и физико-химические аспекты литографии. Природа процессов проявления и травления резистов, основные типы полимерных резистов. Жидкости для иммерсионной литографии на основе коллоидных частиц.
Презентация лекции.

20 ноября.
Формирование наноразмерных объектов в конфигурации зондовых микроскопов: модифицированные зонды, локальное модифицирование поверхности в газовой фазе и растворах. Квазилитография.
Презентация лекции.

27 ноября.
Процессы, приводящие к деградации наноструктур в процессе их изготовления и функционирования. Проблемы технологической совместимости материалов. Принципиальные схемы многоэтапных технологий наноструктур.
Презентация лекции.

Декабрь.
Подготовка и защита нанотехнологических проектов.
Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика