Адрес e-mail:

Направления исследований

Основные научные направления Института:

  • физические основы технологии формирования многослойных, планарных и самоподдерживающихся структур микро- и наноэлектроники;
  • развитие физических основ и разработка методов и аппаратуры для диагностики структур микро- и наноэлектроники;
  • физические основы рентгеновской оптики и управления рентгеновским лучом (прецизионное сканирование и модуляция), развитие методов электронной и рентгеновской литографии и микроскопии;
  • технологии формирования пленок и их травления;
  • электрические и оптические свойства структур нанометровых размеров;
  • разработка физико-химических методов получения и анализа материалов высокой чистоты для твердотельной микро- и наноэлектроники.

 Научно-исследовательская деятельность ИПТМ РАН осуществляется в рамках:

  • фундаментальных, прикладных и перспективных исследований;
  • развития технологических процессов;
  • создания научных приборов, технологического оборудования, материалов и изделий электронной техники.

 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика