Адрес e-mail:

Лаборатории

Институт располагает уникальным оборудованием. В составе института имеются следующие научные подразделения:

  • Лаборатория математического моделирования физико-технологических процессов микроэлектроники (ММФТПМ), ­зав.лаб.: проф., д.ф.-м.н. Т.М.Махвиладзе.
  • Лаборатория микроструктурирования и субмикронных приборов (МССП), зав.лаб.: чл.корр. РАН, проф.А.А.Орликовский.
  • Лаборатория субмикронной литографии (СЛ), зав.лаб.: проф., д.ф.-м.н. Л.В.Великов.
  • Лаборатория физики поверхности и микроэлектронных структур (ФПМС), зав.лаб.: чл.-корр.РАН, проф.А.М.Афанасьев.

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика