Квантовые наноструктуры, материалы и устройства (образовательная программа)
Устройства для литографии
Программа 2020
Вводная лекция
Электронно-лучевая литография
Семинар 12.03
Оптическая литография
(здесь выдержки из лекций 2019; лекции И.Родионова распространялись в ходе скайп-сессии;
можно пользоваться также
этим пособием (стр.12-27))
Рентгеновская литография:
Лекция 1-1 Лекция 1-2 Лекция 2-1 Лекция 2-2 Лекция 3-1 Лекция 3-2
23.04 - факультативная лекция И.А. Щелокова
Первая порция задач (решения присылать Владимиру Николаевичу
V.Antonov@skoltech.ru до 27.04, обсуждение будет на семинаре
30.04):
в каждом файле последняя задача индивидуальная, остальные общие
1 2 3 4 5 6 7 8
Семинар 30.04
Вторая порция задач - 8 индивидуальных вариантов в одном
файле. Решения присылать Владимиру Николаевичу
V.Antonov@skoltech.ru до 11.05, обсуждение будет на семинаре
14.05.
Семинар 14.05