Адрес e-mail:

Квантовые наноструктуры, материалы и устройства (образовательная программа)

Технологии наноструктур, осень 2019


7 сентября

Классификация наноструктур и их фрагментов по конфигурации и составу → принципы выбора технологии. "Мокрые" и "сухие", физические и химические технологии наноразмерных объектов и устройств на их основе. 

14 сентября

Нанесение наноразмерных объектов на подложки в вакуумных устройствах и из газовой фазы: методы, основанные на химических, фото- и плазмохимических процессах. Требования к реагентам. Типы и стадийность процессов. Регулирующие факторы. Реакторы.

21 сентября

Двухисточниковые процессы. Атомарно-гладкие подложки. Эпитаксия. Предобработка подложек. Основные механизмы нуклеации и роста.  In situ мониторинг роста тонких пленок спектроскопическими методами.

28 сентября

Электроосаждение и химическое осаждение металлов, сплавов, сложных соединений. Темплатируемое осаждение упорядоченных ансамблей наноразмерных объектов («наногальваника») и слоистых наноструктур. Кулонометрический мониторинг при электроосаждении.

3 октября (чт!!) в 15.00
Физические методы нанесения тонких пленок. Термическое, магнетронное и электронно-лучевое осаждение тонких слоев (В.В. Больгинов). 

Задачи по физическим методам: индивидуально, на выбор, 5, 15, 23, 27, 34, 38 из Приложения G (стр. 164) в этом сборнике. Решения присылать Виталию Валерьевичу bolg@mail.ru .

5 октября

Процессы анодного растворения и окисления металлов и кремния. Электрополировка. Анодирование металлов для создания сплошных диэлектрических пленок и оксидных слоев с упорядоченными порами. Изготовление нанометровых зазоров. Заострение зондов. 

12 октября

Оптический контроль размеров коллоидных частиц, получение металлических и полупроводниковых наночастиц; частицы типа «ядро-оболочка» и другие экзотические коллоиды. 

19 октября

Формирование наноразмерных объектов в конфигурации зондовых микроскопов: модифицированные зонды, локальное модифицирование поверхности в газовой фазе и растворах. Квазилитография. 

26 октября

Химические и физико-химические аспекты литографии. Природа процессов проявления и травления резистов, основные типы полимерных резистов. Жидкости для иммерсионной литографии на основе коллоидных частиц.

2 ноября

Процессы, приводящие к деградации наноструктур в процессе их изготовления и функционирования. Проблемы технологической совместимости материалов. Принципиальные схемы многоэтапных технологий наноструктур.

9 ноября

«Нанометрология».

16 ноября

Сверхпроводящие и гибридные наноструктуры (обзорная лекция, В.В.Рязанов).

Экзамен:  защита нанотехнологических проектов 

 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях