Адрес e-mail:

Квантовые наноструктуры, материалы и устройства (образовательная программа)

Введение в технологии наноструктур, осень 2021


8 сентября
Сверхпроводящие и гибридные наноструктуры (обзорная лекция, В.В.Рязанов).

15 сентября

Классификация наноструктур и их фрагментов по конфигурации и составу → принципы выбора технологии. "Мокрые" и "сухие", физические и химические технологии наноразмерных объектов и устройств на их основе. 


22 сентября

Нанесение наноразмерных объектов на подложки в вакуумных устройствах и из газовой фазы: методы, основанные на химических, фото- и плазмохимических процессах. Требования к реагентам. Типы и стадийность процессов. Регулирующие факторы. Реакторы.


29 сентября

Двухисточниковые процессы. Атомарно-гладкие подложки. Эпитаксия. Предобработка подложек. Основные механизмы нуклеации и роста.  In situ мониторинг роста тонких пленок спектроскопическими методами.


6 октября

Физические методы нанесения тонких пленок. Термическое, магнетронное и электронно-лучевое осаждение тонких слоев (В.В. Больгинов).  

Задачи по физическим методам: из Приложения G (стр. 164) в этом сборнике

Решения присылать до 25 октября Виталию Валерьевичу bolg@mail.ru .

13 и 20 октября

Электроосаждение и химическое осаждение металлов, сплавов, сложных соединений. Темплатируемое осаждение упорядоченных ансамблей наноразмерных объектов («наногальваника») и слоистых наноструктур. Кулонометрический мониторинг при электроосаждении.


27 октября

Процессы анодного растворения и окисления металлов и кремния. Электрополировка. Анодирование металлов для создания сплошных диэлектрических пленок и оксидных слоев с упорядоченными порами. Изготовление нанометровых зазоров. Заострение зондов. 


3 ноября

Оптический контроль размеров коллоидных частиц, получение металлических и полупроводниковых наночастиц; частицы типа «ядро-оболочка» и другие экзотические коллоиды. 


10 ноября

Формирование наноразмерных объектов в конфигурации зондовых микроскопов: модифицированные зонды, локальное модифицирование поверхности в газовой фазе и растворах. Квазилитография. 


17 ноября

Химические и физико-химические аспекты литографии. Природа процессов проявления и травления резистов, основные типы полимерных резистов. Жидкости для иммерсионной литографии на основе коллоидных частиц.


24 ноября

Процессы, приводящие к деградации наноструктур в процессе их изготовления и функционирования. Проблемы технологической совместимости материалов. Принципиальные схемы многоэтапных технологий наноструктур.


1 декабря

«Нанометрология».


Экзамен (8 и 15 декабря):  защита нанотехнологических проектов 

 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2021 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях