© 2001-2018 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
Кафедра нанометрологии и наноматериалов
Заведующий кафедрой: д.ф.-м.н, профессор П.А. Тодуа, лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники
Заместитель заведующего: к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий
Магистерская программа:
Нанодиагностика, нанометрология и технологии наноматериалов
Направления исследований и разработок
- Развитие методов измерений параметров наноматериалов, разработка стандартных образцов, методик измерений и государственных стандартов для обеспечения единства измерений в нанометровом диапазоне.
- Разработка перспективной компонентной базы наноэлектроники и оптоэлектроники: поисковые исследование функциональных материалов и создание рабочих прототипов элементов компонентной базы на их основе.
- Развитие технологической базы печатной электроники, основанной на управляемой доставке наночастиц с помощью жидких дисперсий и аэрозолей.
Базовые организации и лаборатории
ОАО «Научно-исследовательский институт по изучению свойств поверхности и вакуума»;
ООО «Метрологический центр РОСНАНО», Центр испытаний функциональных материалов;
НОЦ «Нанотехнологии» МФТИ, Лаборатория функциональных материалов и устройств для наноэлектроники
Общая информация
Наличие высококвалифицированного кадрового обеспечения – необходимое условие успеха любой отрасли. Простой тезис «Если нельзя измерить, то нельзя и произвести» определяет актуальность и значимость вопросов метрологического обеспечения нанотехнологий. В
По мере развития базы технологического и измерительного оборудования, позволяющей осуществлять базовые операции литографического цикла твердотельной электроники; проводить работы с нанодисперсиями и аэрозолями и т.д. сформировалось направление по разработке перспективной компонентной базы наноэлектроники и оптоэлектроники. Данное направление подразумевает активные поисковые исследования функциональных наноматериалов и создание рабочих прототипов элементов компонентой базы на их основе, в частности прототипов ячеек энергонезависимой памяти на эффекте резистивного переключения (ReRAM) и на эффекте поляризации сегнетоэлектрических плёнок (FeRAM); мемристоров для нейроморфных вычислений. В связи с расширением тематик работ в 2014 году кафедра получила обновленное название: «кафедра нанометрологии и наноматериалов».
Научная работа студентов
Предлагаемые тематики научных работ студентов:
Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума
1. Стандартные образцы для калибровки просвечивающей и растровой электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии, д.ф.-м.н. П.А. Тодуа.
2. Эталонные метрологические РЭМ и АСМ, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий.
3. Развитие методов эллипсометрии, д.ф.-м.н. В.П. Гавриленко.
НОЦ «Нанотехнологии»
1. Энергонезависимая сегнетоэлектрическая память (FRAM, FeRAM, FeFET), к.ф.-м.н. А.В. Зенкевич, к.ф.-м.н. А.М. Маркеев, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий.
2. Энергонезависимая память на эффекте резистивного переключения (ReRAM), к.ф.-м.н. А.М. Маркеев, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий.
3. Мемристоры для нейроморфных вычислений, к.ф.-м.н. А.В. Зенкевич.
4. Развитие методов атомно-слоевого осаждения, к.ф.-м.н. А.М. Маркеев.
5. Атомная оптика и ультра холодные атомы, д.ф.-м.н. В.И. Балыкин.
6. Нанооптика, нанофотоника и наноплазмоника, д.ф.-м.н. В.И. Балыкин.
7. Высокочувствительные молекулярно-электронные сейсмические датчики, к.ф.-м.н. В.М. Агафонов.
Центр испытаний функциональных материалов
1. Развитие методов печатной электроники, член-корр. РАН В.В. Иванов.
2. Функциональные материалы катодо- и фотолюминофоров, член-корр. РАН В.В. Иванов.
3. Функциональные материалы для автоэмиссионной электроники, д.ф.-м.н. Е.П. Шешин.
Учебные курсы кафедры
4 курс
1. Метрология в нанотехнологиях, лекции, д.ф.-м.н. М.Н. Филиппов.
2. Материаловедение наноструктурированных материалов, лекции, к.ф.-м.н. Д.А. Свинцов.
3. Приборы и методы исследования наноструктур и нанообъектов, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий.
4. Лабораторный практикум по нанодиагностике, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий.
5. Методы математической статистики, к.ф.-м.н. Д.А. Филимонов
5 курс
1. Физико-химические основы технологий микро- и наноэлектроники, к.ф.-м.н. А.В. Зенкевич, к.ф.-м.н. А.М. Маркеев
2. Практикум по созданию и исследованию микро- и наносистем, к.ф.-м.н. С.А. Зайцев
3. Управление качеством измерений, к.ф.-м.н. Ю.М. Токунов
4. Физико-химические свойства наноразмерных объектов, член-корр. В.В. Иванов
5. Приборы и методы рентгеновской и электронной дифракции, к.ф.-м.н. П.С. Чижов
6. Семинар по нанометрологии и наноматериалами, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий
6 курс
1. Технологический проект, к.ф.-м.н. А.В. Заблоцкий
2. Семинар по нанометрологии и наноматериалами, А.В. Заблоцкий
Контакты для оперативной связи
Заместитель заведующего кафедрой:
к.ф.-м.н. Заблоцкий Алексей Васильевич,
+7-495-408-81-88
zalexx@gmail.com
