Центр технологий и микрофабрикации
Лаборатория прикладных биомедицинских микросистем
ФГБУ ФНКЦ ФХМ ФМБА России
В результате реализации ФЦП «Фарма-2020» на базе ФГБУ «Федеральный научно-клинический центр физико-химической медицины ФМБА России» в 2020 году был построен и оснащен современным высокотехнологичным оборудованием и передовыми инженерными системами корпус Центра технологий и микрофабрикации (ЦТМ). На базе ЦТМ организована лаборатория прикладных биомедицинских микросистем.
На базе ЦТМ и лаборатории реализуются разработка новых методов диагностики на основе микрофлюидных и нанотехнологий, фотоники и плазмоники, разработка и мелкосерийный выпуск микроэлектромеханических систем (МЭМС) для медицинской диагностики и научных приложений, а также разработка и выпуск приборов медицинского назначения.
Были развернуты следующие технологические процессы и циклы для пластин стандарта 100 мм:
· полный цикл оптической фотолитографии в условиях чистых помещений класса ISO5, включая создание фотошаблонов;
· работа с фоторезистами с автоматическим нанесением и отмывкой;
· нанесение тонких пленок методами магнетронного и термического напыления (Au, Pt, Ni, Cr, Ta2O5, SiO2);
· плазмахимическое и жидкостное травления материалов (кремний, стекло, кварц);
· лазерная абляция материалов, включая фемтосекундые и пикосекундные методики (кремний, стекло, полимеры);
· механообработка металлов и пластиков, включая ЧПУ, для прототипирования и мелкосерийного выпуска аналитических приборов.
У научной группы Центра технологий и микрофабрикации ФНКЦ ФХМ ФМБА имеется многолетний опыт исследований и разработок в областях:
- плазмоника и наноплазмоника;
- (био) сенсоры на поверхностных оптических волнах в фотонных кристаллах;
- оптические газовые сенсоры;
- фотонные наноструктуры (наночастицы, фотонные кристаллы, квантовые точки) и их использование в биомедицине;
- сопряжение фотоники\плазмоники с микрофлюидными технологиями;
- разработка оптических анализаторов и диагностических комплексов для in vitro диагностики
г. Одинцово, Красногорское шоссе 15
территория КБ 123
E-mail: dmitry.basmanov@rcpcm.org
