Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. ВНУ MagSput-DC-RF

Вакуумная напылительная установка TORR MagSput-DC-RF


Вакуумная напылительная установка Torr MagSput-DC-RF

Вакуумная установка напыления MagSput-DC-RF изготовлена по индивидуальному заказу МФТИ и предназначена для нанесения тонких слоёв металлов, полупроводников, диэлектриков, композиций материалов с возможностью использования в технологическом процессе трёх различных газов и их смесей. В вакуумной камере установлены пять источников напыления: один высокочастотный магнетрон и четыре магнетрона на постоянном токе мощностью до 1,5 кВт. В камере установлена аргоновая ионная пушка с энергией ионов до 200 эВ, позволяющая прецизионно стравливать поверхностные слои различных материалов.

 

Основные характеристики MagSput-DC-RF:

-       Рабочее давление в камере     до 10-8 Торр;

-       Прогрев подложки: до 400 °C;

-       Мишени: алюминий, вольфрам, медь, титан, тантал, оксид тантала, оксид гафния, оксид вольфрама, нитрид титана, оксид ванадия, золото, платина;

-       Технологические газы: аргон, азот, кислород.

 

Тонкая пленка нитрида титана на кремнии

 

 

 

 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика