Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. ВНУ MagSput-DC-RF

Вакуумная напылительная установка TORR MagSput-DC-RF (2012 г.)


Вакуумная напылительная установка Torr MagSput-DC-RF

Вакуумная установка напыления MagSput-DC-RF изготовлена по индивидуальному заказу МФТИ и предназначена для нанесения тонких слоёв металлов, полупроводников, диэлектриков, композиций материалов с возможностью использования в технологическом процессе трёх различных газов и их смесей. В вакуумной камере установлены пять источников напыления: один высокочастотный магнетрон и четыре магнетрона на постоянном токе мощностью до 1,5 кВт. В камере установлена аргоновая ионная пушка с энергией ионов до 200 эВ, позволяющая прецизионно стравливать поверхностные слои различных материалов.

 

Основные характеристики MagSput-DC-RF:

-       Рабочее давление в камере     до 10-8 Торр;

-       Прогрев подложки: до 400 °C;

-       Мишени: алюминий, вольфрам, медь, титан, тантал, оксид тантала, оксид гафния, оксид вольфрама, нитрид титана, оксид ванадия, золото, платина;

-       Технологические газы: аргон, азот, кислород.

 

Тонкая пленка нитрида титана на кремнии

 

 

 

С 02.05.2017 проводятся сервисные работы.



 

 

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика