© 2001-2018 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
ЦКП МФТИ. Перечень оказываемых услуг
Перечень выполняемых типовых работ и оказываемых услуг
- Измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов (ПЭМ, РЭМ, АСМ). Возможность измерения параметров диэлектрических образцов (РЭМ) в вакууме до 1 Торр.
- Определение локального элементного состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа (EDAX).
- Анализ химического состава веществ, характеризация структуры молекулярных соединений методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС).
- Исследование спектров катодолюминесценции в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм (Gatan).
- Определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов.
- Рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализ порошков и тонких плёнок (рентгеновская дифракция).
- Исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии (АСМ, СТМ).
- Исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии.
- Определение толщин тонких плёнок.
- Исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне).
- Электронная литография с предельным разрешением до 30 нм.
- Фотолитография с предельным разрешением до 500 нм.
- Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное, электронно-лучевое и импульсное лазерное напыление, атомно-слоевое осаждение).
- Плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков.
- Быстрая термическая обработка.
- Печать пассивных элементов микроэлектроники.
- Химико-механическая полировка.
- Прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин.
- Лазерная резка и гравировка.
- Ультразвуковая контактная сварка.
- Вакуумное сращивание кремниевых подложек.
