ЦКП МФТИ. Перечень оказываемых услуг
Перечень выполняемых научных исследований и экспериментальных разработок на оборудовании Центра коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП МФТИ):
- электронная литография, фотолитография;
- магнетронное, электронно-лучевое, атомно-слоевое и лазерное осаждение тонких пленок металлов и диэлектриков;
- плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков;
- быстрая термическая обработка;
- печать пассивных элементов электроники;
- химико-механическая полировка;
- прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин;
- лазерная резка и гравировка;
- ультразвуковая контактная сварка;
- вакуумное сращивание кремниевых подложек;
- рентгеновская дифрактометрия и рефлектометрия;
- измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов;
- определение локального элемента состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа;
- исследование спектров катодолюминесценции;
- определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов;
- исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии;
- анализ химического состава веществ, характеризация структуры молекулярных соединений;
- исследования и модификация электрических и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии;
- определение толщин тонких пленок;
- исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне).
Стоимость выполняемых научных исследований и экспериментальных разработок на оборудовании ЦКП МФТИ:
Наименование
|
Стоимость,
руб./час
(в т.ч. НДС 20%)
|
Аналитическое
оборудование
|
Исследовательский комплекс на
базе растрового электронного микроскопа JEOL JSM-7001F
|
6 646
|
Растровый электронный микроскоп с
системами комбинированного энергодисперсионного и волнового микроанализа,
дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции FEI Quanta 200
|
7 021
|
Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200 3D
|
8 549
|
Сканирующий зондовый микроскоп
NT-MDT Ntegra Prima
|
5 906
|
Просвечивающий электронный
микроскоп JEOL JEM-2100
|
15 239
|
Рентгеновский дифрактометр Thermo ARL X'TRA
|
5 045
|
Измерительный комплекс для
электрофизических и спектроскопических применений (на базе зондовой станции
SUMMIT 11000В-М)
|
5 855
|
Комплекс для электрофизических измерений
полупроводниковых структур (на базе зондовой станции SUMMIT 11000В-М)
|
6 022
|
Портативный
рентгено-флуоресцентный анализатор химического состава Oxford Instruments Х-МЕТ 5100
|
3 401
|
Аналитический комплекс на основе
масс-спектрометра с индуктивно связанной плазмой Thermo Scientific iCAP-Qc
|
4 485
|
Комплект оборудования для
ИК-спектроскопии Nicolet iS50 FT-IR
|
3 588
|
Комплект оборудования для
измерения спектров пропускания и отражения тонких пленок и суспензий HR 4000
Ocean Optics
|
2 725
|
Комбинированный рентгеновский
фотоэлектронный спектрометр ThetaProbe
|
9 628
|
Эллипсометр Sentech SE500adv
|
3 092
|
Спектроскопический эллипсометр Sentech SER 800
|
3 331
|
Инспекционный модуль зондовых
методов исследования XP200
|
3 073
|
Интерферометрическая микроскопическая система на
базе микроскопа Nikon BW-D501
|
3 662
|
Технологическое
оборудование
|
Установка электронно-лучевой
литографии Crestec CABL-9000C
|
15 922
|
Вакуумная напылительная установка
Torr MagSput-DC-RF
|
5 580
|
Система электронно-лучевого
напыления Plassys МЕВ 550 S
|
7 753
|
Установка атомно-слоевого
осаждения Picosun Sunale R200 Advanced
|
9 818
|
Установка атомно-слоевого осаждения
Picosun R150B
|
7 303
|
Установка атомно-слоевого
осаждения Picosun R100 с системой испарения прекурсоров Picohot
|
6 356
|
Автоматическая
шлифовально-полировальная система ХМП ВТ 370
|
2 720
|
Установка безмаскового совмещения
и экспонирования Heidelberg Instruments MLA100
|
7 248
|
Принтер
для прямой печати пассивных элементов Dimatix Materials Printer DMP-2831
|
3 315
|
Установка импульсного лазерного
напыления IVO-250-0.3-15
|
8 452
|
Установка оптической контактной
литографии OAI Hybralign 500
|
4 264
|
Установка плазмохимического
осаждения (PECVD) Oxford Instruments PlasmaLab System 100
|
9 394
|
Установка электронно-лучевого и
магнетронного напыления BOC Edwards AUTO 500
|
6 352
|
Система быстрой термической
обработки Jipelec Jetfirst 200C
|
4 377
|
Установка прецизионной резки и
скрайбирования кремниевых пластин Disco DAD 320
|
4 244
|
Установка лазерной резки и
гравировки МЛП-2
|
2 729
|
Установка ультразвуковой
контактной сварки Kulicke & Soffa
4524AD
|
3
749
|
Установка вакуумного сращивания
подложек AML AWB 04
|
3 315
|
Система плазмохимического
травления Trion Minilock III
|
9 090
|
Лабораторная бисерная мельница
NETZSCH LabStar LS 1
|
2 972
|
Установка импринт нанолитографии Obducat Eitre-3 с УФ-модулем
|
5 049
|
Система для оптической 3D нанолитографии
Nanoscribe Photonic Professional
|
8 279
|
Система плазмохимического
травления Corial 200I
|
4 831
|
|
Работа с химическими реактивами
|
1 357
|
Подготовка документации
|
1 357
|