Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Перечень оказываемых услуг

Перечень выполняемых типовых работ и оказываемых услуг


- Измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов (ПЭМ, РЭМ, АСМ). Возможность измерения параметров диэлектрических образцов (РЭМ)  в вакууме до 1 Торр.

- Определение локального элементного состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа (EDAX).

- Анализ химического состава веществ, характеризация структуры молекулярных соединений методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС).

- Исследование спектров катодолюминесценции в диапазоне длин волн от 300 нм до 1000 нм (Gatan).

- Определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов.

- Рентгенофазовый и рентгеноструктурный анализ порошков и тонких плёнок (рентгеновская дифракция).

- Исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур с помощью современных методов зондовой микроскопии (АСМ, СТМ).

- Исследование и модификация электрических (проводимость, емкостная микроскопия) и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии.

- Определение толщин тонких плёнок.

- Исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне).

- Электронная литография с предельным разрешением до 30 нм.

- Фотолитография с предельным разрешением до 500 нм.

- Нанесение тонких пленок металлов и диэлектриков от 1 нм до 1 мкм (магнетронное, электронно-лучевое и импульсное лазерное  напыление, атомно-слоевое осаждение).

- Плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков.

- Быстрая термическая обработка.

- Печать пассивных элементов микроэлектроники.

- Химико-механическая полировка.

- Прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин.

- Лазерная резка и гравировка.

- Ультразвуковая контактная сварка.

- Вакуумное сращивание кремниевых подложек.

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика