Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Перечень оказываемых услуг

Перечень выполняемых научных исследований и экспериментальных разработок на оборудовании Центра коллективного пользования уникальным научным оборудованием в области нанотехнологий (ЦКП МФТИ):


- электронная литография, фотолитография;

- магнетронное, электронно-лучевое, атомно-слоевое и лазерное осаждение тонких пленок металлов и диэлектриков;

- плазмохимическое травление тонких пленок металлов и диэлектриков;

- быстрая термическая обработка;

- печать пассивных элементов электроники;

- химико-механическая полировка;

- прецизионная резка и скрайбирование кремниевых пластин;

- лазерная резка и гравировка;

- ультразвуковая контактная сварка;

- вакуумное сращивание кремниевых подложек;

- рентгеновская дифрактометрия и рефлектометрия;

- измерение геометрических параметров наноструктур и нанообъектов;

- определение локального элемента состава с помощью систем энергодисперсионного и волнового рентгеновского микроанализа;

- исследование спектров катодолюминесценции;

- определение фазовой структуры поликристаллов методом дифракции обратно-рассеянных электронов;

- исследование рельефа и физико-химических свойств поверхности нанообъектов и наноструктур методами сканирующей зондовой микроскопии;

- анализ химического состава веществ, характеризация структуры молекулярных соединений;

- исследования и модификация электрических и магнитных свойств объектов методами сканирующей зондовой микроскопии;

- определение толщин тонких пленок;

- исследование электрофизических характеристик структур и объектов (в том числе в СВЧ диапазоне).



Стоимость выполняемых научных исследований и экспериментальных разработок на оборудовании ЦКП МФТИ:  



Наименование

Стоимость,

руб./час

(в т.ч. НДС 20%)

Аналитическое оборудование

Исследовательский комплекс на базе растрового электронного микроскопа JEOL JSM-7001F

6 646

Растровый электронный микроскоп с системами комбинированного энергодисперсионного и волнового микроанализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции FEI Quanta 200

7 021

Растровый электронный микроскоп FEI Quanta 200 3D

8 549

Сканирующий зондовый микроскоп NT-MDT Ntegra Prima

5 906

Просвечивающий электронный микроскоп JEOL JEM-2100

15 239

Рентгеновский дифрактометр Thermo ARL X'TRA

5 045

Измерительный комплекс для электрофизических и спектроскопических применений (на базе зондовой станции SUMMIT 11000В-М)

5 855

Комплекс для электрофизических измерений полупроводниковых структур (на базе зондовой станции SUMMIT 11000В-М)

6 022

Портативный рентгено-флуоресцентный анализатор химического состава Oxford Instruments Х-МЕТ 5100

3 401

Аналитический комплекс на основе масс-спектрометра с индуктивно связанной плазмой Thermo Scientific iCAP-Qc

4 485

Комплект оборудования для ИК-спектроскопии Nicolet iS50 FT-IR

3 588

Комплект оборудования для измерения спектров пропускания и отражения тонких пленок и суспензий HR 4000 Ocean Optics

2 725

Комбинированный рентгеновский фотоэлектронный спектрометр ThetaProbe

9 628

Эллипсометр Sentech SE500adv

3 092

Спектроскопический эллипсометр Sentech SER 800

3 331

Инспекционный модуль зондовых методов исследования XP200

3 073

Интерферометрическая микроскопическая система на базе микроскопа Nikon BW-D501

3 662

Технологическое оборудование

Установка электронно-лучевой литографии Crestec CABL-9000C

15 922

Вакуумная напылительная установка Torr MagSput-DC-RF

5 580

Система электронно-лучевого напыления Plassys МЕВ 550 S

7 753

Установка атомно-слоевого осаждения Picosun Sunale R200 Advanced

9 818

Установка атомно-слоевого осаждения Picosun R150B

7 303

Установка атомно-слоевого осаждения Picosun R100 с системой испарения прекурсоров Picohot

6 356

Автоматическая шлифовально-полировальная система ХМП ВТ 370

2 720

Установка безмаскового совмещения и экспонирования Heidelberg Instruments MLA100

7 248

Принтер для прямой печати пассивных элементов Dimatix Materials Printer DMP-2831

3 315

Установка импульсного лазерного напыления IVO-250-0.3-15

8 452

Установка оптической контактной литографии OAI Hybralign 500

4 264

Установка плазмохимического осаждения (PECVD) Oxford Instruments PlasmaLab System 100

9 394

Установка электронно-лучевого и магнетронного напыления BOC Edwards AUTO 500

6 352

Система быстрой термической обработки Jipelec Jetfirst 200C

4 377

Установка прецизионной резки и скрайбирования кремниевых пластин Disco DAD 320

4 244

Установка лазерной резки и гравировки МЛП-2

2 729

Установка ультразвуковой контактной сварки  Kulicke & Soffa 4524AD

3 749

Установка вакуумного  сращивания  подложек AML AWB 04

3 315

Система плазмохимического травления Trion Minilock III

9 090

Лабораторная бисерная мельница NETZSCH  LabStar LS 1

2 972

Установка импринт нанолитографии Obducat Eitre-3 с УФ-модулем

5 049

Система для оптической 3D нанолитографии Nanoscribe Photonic Professional

8 279

Система плазмохимического травления Corial 200I

4 831

 

Работа с химическими реактивами

1 357

Подготовка документации

1 357


Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях