© 2001-2017 Московский физико-технический институт
(государственный университет)
Новости
Участие в федеральных целевых программах
В ходе выполнения проекта по Соглашению о предоставлении субсидии от 22 августа 2014 г. № 14.594.21.0009 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014- 2020 годы» на этапе № 2 в период с 1 января 2015 г. по 30 июня 2015 г. в соответствии с Планом-графиком проводились следующие работы:
‑ произведена закупка расходных материалов для обеспечения деятельности ЦКП на сумму 2,72 млн. руб. за счет средств субсидии;
‑ проведены конкурсы на закупку дорогостоящего научного оборудования, стоимостью свыше 1 млн. рублей (установка для вакуумного осаждения тонких пленок (код ОКДП 3321174, код ОКВЭД 33.30), принтер для печатной электроники (код ОКДП 2949122, код ОКВЭД 29.56), комплект оборудования для измерения спектров пропускания и отражения тонких пленок и суспензий, а также для измерения спектральных и фотометрических характеристик в диапазоне длин волн 200-1100 нм (код ОКДП 3321144, код ОКВЭД 33.20)), общей стоимостью 46,46 млн. руб.;
‑ произведена закупка расходных материалов за счет внебюджетных средств;
‑ проведены работы по содержанию и ремонту научного оборудования ЦКП;
‑ разработана новая методика измерений толщин тонких пленок в диапазоне от 3 до 30 нм методом рефлектометрии.;
‑ проведён семинар на тему метрологического обеспечения деятельности ЦКП с целью развития кадрового потенциала ЦКП МФТИ;
‑ проведены работы по поддержке и актуализации сайта ЦКП МФТИ;
‑ разработан технологический регламент для проведения операции атомно-слоевого осаждения сегнетоэлектрических пленок;
‑ организовано участие представителя ЦКП МФТИ в конференции по вопросам поддержки и развития центров коллективного пользования научным оборудованием и уникальных научных установок.
В ходе выполнения проекта по Соглашению о предоставлении субсидии от 22 августа 2014 г. № 14.594.21.0009 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014- 2020 годы» на этапе № 3 в период с 1 июля 2015 г. по 31 декабря 2015 г. в соответствии с Планом-графиком проводились следующие работы:
‑ произведена закупка расходных материалов для обеспечения деятельности ЦКП на сумму 2,72 млн. руб. за счет средств субсидии;
‑ произведена закупка современного дорогостоящего научного оборудования, стоимостью свыше 1 млн. рублей (комплект оборудования для вакуумного осаждения тонких пленок (код ОКДП 3321174, код ОКВЭД 33.30), принтер для печатной электроники (код ОКДП 2949122, код ОКВЭД 29.56), комплект оборудования для измерения спектров пропускания и отражения тонких пленок и суспензий, а также для измерения спектральных и фотометрических характеристик в диапазоне длин волн 200-1100 нм (код ОКДП 3321144, код ОКВЭД 33.20)),общей стоимостью 46,46 млн. руб.;
‑ проведены работы по содержанию и ремонту научного оборудования ЦКП и подготовке помещений для размещения технологического оборудования;
‑ разработана новая методика измерений толщин МИМ-структур (металл-изолятор-металл) методом рефлектометрии.;
‑ в рамках работ по развитию кадрового потенциала ЦКП инициирована программа повышения качества владения сотрудниками ЦКП английским языком совместно с ЦЯПТ МФТИ;
‑ проведены работы по метрологическому обеспечению деятельности ЦКП;
‑ получена аккредитация в ООО Технопарк "Сколково";
- разработан технологический регламент для проведения операции вакуумного напыления тонких металлических пленок;
‑ проведены работы по поддержке в организации Международного Семинара "Атомное слоевое осаждение: Россия, 2051" (ALD: Russia, 2015) с участием сотрудников ЦКП в программе семинара.
Комиссия Минобрнауки России признала обязательства по Соглашению на отчетном этапе исполненными надлежащим образом.
Основные результаты, полученные в отчётный период
Произведена закупка современного дорогостоящего оборудования для расширения перечня услуг ЦКП на общую стоимость 46,46 млн. руб.: комплекта оборудования для вакуумного осаждения тонких пленок, принтера для печатной электроники, комплекта оборудования для измерения спектров пропускания и отражения тонких пленок и суспензий.
Разработана новые методики измерений для обеспечения качества технологических процессов, требуемых при изготовления электронной компонентной базы:
методика измерения толщин тонких пленок в диапазоне от 3 до 30 нм методом рефлектометрии;
методика измерения толщин МИМ-структур (металл-изолятор-металл) методом рефлектометрии.
Разработан технологический регламент для проведения операции атомно-слоевого осаждения сегнетоэлектрических пленок на установке АСО Picosun R200 Advanced, закупленной на предыдущем этапе работ. Разработан технологический регламент нанесения тонких металлических пленок методом импульсного лазерного осаждения.
