Адрес e-mail:

Методики измерений. ГОСТы

Методики измерений


 1

Методика измерения поляризационного заряда наноразмерных областей сегнетоэлектрика с помощью АСМ.

Свидетельство об аттестации методики № 41/20.12.2018-01.00276-2014

 2

Методика выполнения измерения диссипационных свойств поверхности с помощью широкополосной атомно-силовой акустической микроскопии.

Свидетельство об аттестации методики № 40/20.12.2018-01.00276-2014

3

Методика измерения предельной скорости переключения ячейки памяти, управляемой напряжением.

Свидетельство об аттестации методики № 42/21.12.2018-01.00276-2014

4

Методика измерения глубин связанных состояний в диэлектрике структуры «металл-диэлектрик-полупроводник».

Свидетельство об аттестации методики № 43/21.12.2018-01.00276-2014

5

Методика измерения распределения концентрации основных носителей в полупроводнике структуры «металл-диэлектрик-полупроводник».

Свидетельство об аттестации методики № 44/21.12.2018-01.00276-2014

6

Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой для электрофизических измерений. Методика измерений распределения сегнетоэлектрических кристаллитов с помощью широкополосной микроскопии пьезоотклика.
Свидетельство об аттестации методики № 28/28.12.2017-01.00276-2014

7

Микроскоп зондовый сканирующий атомно-силовой. Методика измерения контактной жесткости поверхности с помощью атомно-силовой акустической микроскопии.
Свидетельство об аттестации методики № 27/28.12.2017-01.00276-2014

8

Толщина тонкой пленки. Методика измерения с помощью рентгеновского дифрактометра. 

Свидетельство об аттестации методики №240/01.0317-2011/2015 от 25.12.2015 г.

9

Толщина МИМ-структур (металл-изолятор-металл). Методика измерения с помощью рентгеновского дифрактометра. 

Свидетельство об аттестации методики №239/01.0317-2011/2015 от 25.12.2015 г.

10

Толщина тонкой плёнки. Методика измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа.

Свидетельство об аттестации методики №23/01.00317-2011/2014 от 28.11.2014 г.

11

Ширина литографической линии. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа. 

Свидетельство об аттестации методики №232/01.00317-2011/2014 от 28.11.2014 г.

12

Площадь контактов. Методика измерений с помощью растрового электронного микроскопа в режиме регистрации отраженных электронов. 

Свидетельство об аттестации методики №225/01.00317-2011/2013 от 29.04.2013 г.

13

Локальный химический анализ оксидных наноразмерных структур. Методика измерений с помощью рентгеновского фотоэлектронного спектрометра. 

Свидетельство об аттестации методики №227/01.00317-2011/2013 от 29.04.2013 г.

14

Вольт-амперная характеристика наноматериалов и наноструктур. Методика измерений с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа. 

Свидетельство об аттестации методики №228/01.00317-2011/2013 от 29.04.2013 г.

15

Локальное электрическое сопротивление наноматериалов и наноструктур. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа для электрофизических измерений.

Свидетельство об аттестации методики №71 ПВ от 07.05.2010 г.

16

Состав эпитаксиальных плёнок AlxGa1-xAs на подложке GaAs. Методика выполнения измерений с помощью порошкового рентгеновского дифрактометра. 

Свидетельство об аттестации методики №70 ПВ от 07.05.2010 г.

17

Химический анализ поверхности. Методика выполнения измерений с помощью блока детектирования рентгеновского излучения в составе растрового электронного микроскопа. 

Свидетельство об аттестации методики №67ПВ от 15.12.2009 г.

18

Линейные размеры микро- и нанообъектов. Методика выполнения измерений с помощью растрового электронного микроскопа Quanta 200. 

Свидетельство об аттестации методики №58ПВ от 12.11.2009 г.

19

Эффективная шероховатость поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Ntegra Prima. 

Свидетельство об аттестации методики №56ПВ от 12.11.2009 г.

20

Метрические параметры поверхности. Методика выполнения измерений с помощью сканирующего зондового микроскопа Ntegra Prima. 

Свидетельство об аттестации методики №57ПВ от 12.11.2009 г.

21

Толщина и межслоевой период тонких плёнок. Методика выполнения измерений с помощью порошкового рентгеновского дифрактометра. 

Свидетельство об аттестации методики №69 ПВ от 07.05.2010 г.


ГОСТ (разработаны с участием  ЦКП МФТИ)


1 ГОСТ Р 8.628-2007. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.
2 ГОСТ Р 8.629-2007. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки.
3 ГОСТ Р 8.630-2007. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки.
4 ГОСТ Р 8.631-2007. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки.
5 ГОСТ Р 8.635-2007. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика калибровки.
6 ГОСТ Р 8.636-2007. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки.
7 ГОСТ Р 8.644-2008. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика калибровки.
8 ГОСТ Р 8.696-2010. ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах и распределение интенсивностей в дифракционных картинах. Методика выполнения измерений с помощью электронного дифрактометра.
9 ГОСТ Р 8.697-2010. ГСИ. Межплоскостные расстояния в кристаллах. Методика выполнения измерений с помощью просвечивающего электронного микроскопа.
10 ГОСТ Р 8.698-2010. ГСИ. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра.
11 ГОСТ Р 8.700-2010.  ГСИ. Методика измерений эффективной    высоты шероховатости поверхности с помощью сканирующего зондового атомно-силового микроскопа.


Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях