Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Оптический литограф Heidelberg Instruments MLA100

Установка безмаскового совмещения и литографии Heidelberg Instruments MLA100 (2015 г.)




MLA100 очень простой в использовании и экономичный прибор безмасковой оптической литографии. MLA100 может применяться в таких сферах, как MEMSBioMEMS, интегральная оптика, микро гидросистемы, ReRAMFeRAM и других прикладных сферах микроэлектроники, где требуется высокая точность и высокое разрешение литографии.





Технические характеристики

размер образца до 6" х 6"

разрешение литографии не хуже 0.6 мкм

длина волны источника 375 нм

скорость литографии до 90 мм2/мин

автоматическое позиционирование при помощи встроенной камеры

векторный и растровый режимы экспонирования

 



Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика