Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Группа атомно-слоевого осаждения (АСО) МФТИ

Группа атомно-слоевого осаждения (АСО) МФТИ была организована в 2007 профессором А.П. Алёхиным, учеником и сподвижником В.Б. Алесковского, изобретателя метода АСО.  

В настоящее время группа ведет исследования по всем ключевым направлениям современного АСО,  включая проблемы получения как диэлектрических слоев, так и проводящих слоев, обеспечивающие комплексный поход к созданию новых 3D микроэлектронных структур. Еще одним значимым направлением деятельности является разработка биосовместимых покрытий, в том числе и с заданными электрическими свойствами. Некоторые из таких покрытий уже внедрены в серийное производство. Наше оборудование позволяет проводить in situ рентгено-фотоэлектроную диагностику любой стадии роста покрытия, что даёт возможность анализировать ростовые процессы на более высоком уровне точности и воспроизводимости.

Контакты:
www.ald-mipt.ru

E-mail: info@ald-mipt.ru

Руководитель группы:
к.ф.-м.н. Маркеев Андрей Михайлович
amarkeev@mail.mipt.ru
Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li soc-yt
Яндекс.Метрика