Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. ЭЛН Plassys MEB 550S

Установка электронно-лучевого напыления MEB 550S Plassys 

Установка электронно-лучевого напыления MEB 550S Plassys предназначена для вакуумного напыления металлических тонких пленок с возможностью подачи кислорода в камеру для получения окислов металлов с заданной стехиометрией состава. Также возможен нагрев подложки до 600 градусов и чистка (травление) поверхности подложки в аргоновой плазме.

Установка оснащена держателем образцов с возможностью крепления пластин до 4" и 3 степенями свободы. Процесс напыления осуществляется автоматически с помощью ПК по заранее подготовленному рецепту. Одновременно в барабане может находиться 4 различных материала для напыления.




Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2020 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях