Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. ЭЛЛ CRESTEC CABL-9050C

Установка электронно-лучевой литографии Crestec CABL-9000C

Электронно-лучевой литограф Crestec CABL

Система электронной литографии высокого разрешения Crestec CABL-9000C оснащена катодом Шоттки и обеспечивает разрешение во вторичных электронах до 2 нм при ускоряющем напряжении 50 кВ. Электронная оптика прибора обеспечивает отклонение тока пучка не более 1% от установленного значения за 5 часов непрерывной работы. Передвижение объектов осуществляется с помощью трехосевого столика, а благодаря интерферометрам по осям X и Y позиционирование выдерживается с точностью 10 нм. Совокупность малого диаметра, высокой стабильности электронного зонда и точности перемещения интерферометрического стола обеспечивает литографическое разрешение до 10 нм.

 

 Ниже приведены основные характеристики литографа Crestec CABL-9050C.

·        Катод Шоттки ZrO/W

·        Ускоряющее напряжение 5-50 кВ (шаг 1 кВ)

·        Ток пучка от 5 пА до 120 нА

·        Отклоняющая система:  двухступенчатая электростатическая

·        Разрешение: 2 нм во вторичных электронах

·        Размер держателей под пластины:  100 мм

·        Точность перекрытия полей:  50 нм при поле 500 мкм на 500 мкм, 20 нм при поле 50 мкм на 50 мкм.

 


а

б

в

Маска (а) и результат напыления (б) SQUID полученные с помощью литографии на Crestec CABL-9050C.  Пример литографии с максимальным разрешением до 10 нм (в)

Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика