Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. ICPE Corial 200I


Установка Corial 200I предназначена для проведения ICP и RIE процессов травления кремния, оксида кремния, металлов и оксидов металлов на пластинах диаметром до 200 мм (в камере возможно размещение до семи пластин диаметром до 50 мм).


Установка оснащена двухсот двадцати миллиметровым катодом с держателем образцов для загрузки и выгрузки образцов, при этом держатель образцов может меняться в зависимости от размеров образца или используемого процесса.


Высокопроизводительная вакуумная система состоит из безмасляного насоса Alcatel ADP 122P с производительностью 95 м3/час и турбомолекулярного насоса Alcatel ATH 500M с производительностью 50 л/сек. Вакуумная система оснащена затворным клапаном для выгрузки/загрузки образцов без остановки турбомолекулярного насоса и автоматической системой контроля давления с дроссельной заслонкой.

 


Технические характеристики:

- 7 газовых линий с контроллерами потока газа (CHF3, SF6, O2, C2H4, Ar);

- радиочастотный генератор 13,56 МГц, 300 Вт;

- радиочастотный генератор с воздушным охлаждением (2 МГц, 1 кВт).







Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2020 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях