Одним из главных принципов уникальной «системы Физтеха», заложенной в основу образования в МФТИ, является тщательный отбор одаренных и склонных к творческой работе представителей молодежи. Абитуриентами Физтеха становятся самые талантливые и высокообразованные выпускники школ всей России и десятков стран мира.

Студенческая жизнь в МФТИ насыщенна и разнообразна. Студенты активно совмещают учебную деятельность с занятиями спортом, участием в культурно-массовых мероприятиях, а также их организации. Администрация института всячески поддерживает инициативу и заботится о благополучии студентов. Так, ведется непрерывная работа по расширению студенческого городка и улучшению быта студентов.

Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Атомно-слоевое осаждение

Установка атомно-слоевого осаждения  Picosun R200 Advanced


Установка атомно-слоевого осаждения

Основные характеристики установки атомно-слоевого осаждения с модулем плазменной обработки (PE-ALD):

- возможность проводить операцию осаждения тонких плёнок (в т. ч. сегнетоэлектрических) методом атомно-слоевого осаждения с повторяемостью по толщине не хуже 1 нм конформно на поверхностях с любым рельефом;

- возможность работы с подложками диаметром до 200 мм;

- наличие источников для работы в жидкостными прекурсорами с высоким давлением паров (TMA, DEZ, TiCl4  и т.д);

- наличие источников для жидкостных и твердотельных прекурсоров с низким давлением паров (TEMAHf, CHORuS) с нагревом до 200°С.

 

 


Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2016 Московский физико-технический институт
(государственный университет)

Техподдержка сайта

МФТИ в социальных сетях

soc-vk soc-fb soc-tw soc-li soc-li
Яндекс.Метрика