Основные характеристики установки атомно-слоевого осаждения с модулем плазменной обработки (PE-ALD):
- возможность проводить операцию осаждения тонких плёнок (в т. ч. сегнетоэлектрических) методом атомно-слоевого осаждения с повторяемостью по толщине не хуже 1 нм конформно на поверхностях с любым рельефом;
- возможность работы с подложками диаметром до 200 мм;
- наличие источников для работы в жидкостными прекурсорами с высоким давлением паров (TMA, DEZ, TiCl4 и т.д);
- наличие источников для жидкостных и твердотельных прекурсоров с низким давлением паров (TEMAHf, CHORuS) с нагревом до 200°С.
|