ЦКП МФТИ. Эллипсометр SENTECH SER 800
Спектроскопический эллипсометр SENTECH Instruments GmbH SER 800
Спектроскопический эллипсометр предназначен для измерения толщины и оптических характеристик массивных материалов, единичных и многослойных пленок, поверхностей раздела слоев, очень тонких и толстых пленок.
Характеристики эллипсометра:
- регулировка ручного гониометра от 40° до 90° с шагом 5° (точность 0,02°), фиксированный столик для образцов диаметром до 150 мм (регулировка по высоте / углу наклона с помощью микровинтов) и черно-белая видеокамера, служащая для выравнивания образца (вместо окуляра), захвата изображения, вывода изображения на монитор компьютера;
- наличие автоколлиматора (ACT) и оптического микроскопа;
- спектральный диапазон 240 – 1000 нм;
- широковолновый компенсатор для работы в непрерывном спектральном диапазоне без “мертвых зон” при Δ=0° и Δ =180°;
- разрешение анализатора и поляризатора на базе призмы Глана-Томсона (с поддержкой следящего режима работы) ±0,01º;
- время измерения (среднее значение) 1024 точек спектра в UV‐ VIS спектральном диапазоне - 10 с;
- спектральное разрешение высокочувствительного CCD детектора UV‐VIS не более 0,45 нм на пиксел в диапазоне UV‐VIS;
- размер пятна - 1,5‐3 мм;
- толщина измеряемых прозрачных пленок - до 10 000 нм;
- точность (1Ϭ):
- для номинала 1000 нм SiO2 на Si - не хуже ±5A;
- для номинала 1000А SiO2 на Si - не хуже ±0,15A;
- R.I. для N - не более ±0.0002;
- R.I. для K - не более ±0.0015;
- повторяемость (погрешность):
- для номинала 1000А SiO2 на Si - не более ±0.5 A;
- R.I. для N - не более ±0.0015;
- R.I. для K - не более ±0.0015.