Адрес e-mail:

ЦКП МФТИ. Эллипсометр SENTECH SER 800

Спектроскопический эллипсометр SENTECH Instruments GmbH SER 800


Спектроскопический эллипсометр предназначен для измерения толщины и оптических характеристик массивных материалов, единичных и многослойных пленок, поверхностей раздела слоев, очень тонких и толстых пленок.

Характеристики эллипсометра:

- регулировка ручного гониометра от 40° до 90° с шагом 5° (точность 0,02°), фиксированный столик для образцов диаметром до 150 мм (регулировка по высоте / углу наклона с помощью микровинтов) и черно-белая видеокамера, служащая для выравнивания образца (вместо окуляра), захвата изображения, вывода изображения на монитор компьютера;

- наличие автоколлиматора (ACT) и оптического микроскопа;

- спектральный диапазон 240 – 1000 нм;

-  широковолновый компенсатор для работы в непрерывном спектральном диапазоне без “мертвых зон” при Δ=0° и Δ =180°;

- разрешение анализатора и поляризатора на базе призмы Глана-Томсона (с поддержкой следящего режима работы) ±0,01º;

- время измерения (среднее значение) 1024 точек спектра в UV‐ VIS спектральном диапазоне - 10 с;

- спектральное разрешение высокочувствительного CCD детектора UV‐VIS не более 0,45 нм на пиксел в диапазоне UV‐VIS;

- размер пятна - 1,5‐3 мм;

- толщина измеряемых прозрачных пленок - до 10 000 нм;

- точность (1Ϭ):

- для номинала 1000 нм SiO2 на Si - не хуже ±5A;

- для номинала 1000А SiO2 на Si - не хуже ±0,15A;

- R.I. для N - не более ±0.0002;
- R.I. для K - не более ±0.0015;

- повторяемость (погрешность):

- для номинала 1000А SiO2 на Si - не более ±0.5 A;

- R.I. для N - не более ±0.0015;

- R.I. для K - не более ±0.0015.







Если вы заметили в тексте ошибку, выделите её и нажмите Ctrl+Enter.

© 2001-2020 Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)

Противодействие коррупции | Сведения о доходах

Политика обработки персональных данных МФТИ

Техподдержка сайта | API

Использование новостных материалов сайта возможно только при наличии активной ссылки на https://mipt.ru

МФТИ в социальных сетях